内容简介：1.低能大束流离子注入机为离子注入机市场主流 根据观研报告网发布的《中国离子注入机行业现状深度研究与发展前景预测报告（2025-2032年） 》显示，离子注入机是半导体制造的核心设备之一，与光刻机、刻蚀机和镀膜机并称“芯片制造的四大关键装备”，主要应用于芯片的电性改良与材料改性。根据离子束电流和束流能量范围，离子注入机主要可以分为中低束流离子注入机、低能大束流离子注入机、高能离子注入机...
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