内容简介：前言： 在全球科技竞争白热化的当下，半导体产业已然成为国家战略性新兴产业的核心支柱，而半导体设备零部件作为半导体产业的“基石”，是决定半导体设备产业发展水平的关键因素,因为其不仅是半导体设备制造环节中难度较大、技术含量较高的环节之一，也是国内半导体设备企业“卡脖子”的环节之一。近年来，随着半导体市场需求激增、国产化进程加速推进，半导体设备零部件行业迎来前所未有的发展机遇，资金涌入...
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