内容简介：前言： 温控设备是集成电路制造过程中不可或缺的关键设备。近年来，受益于晶圆制造产线的持续扩张，我国半导体专用温控设备市场需求持续高涨，市场规模不断扩容。此前，半导体专用温控设备市场份额主要由以ATS 公司、SMC公司等为代表国外厂商占据。但2018年以来，以京仪装备为代表的国内厂商研发能力、产品质量、服务水平不断提升，逐步打破外资垄断，市场地位持续提高。 一、温控设备是集成电路制造关键设备...
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